李院士拿出一份长长的清单:“清单上的每一项,都是我们目前被卡脖子最狠的环节。其中,有几项与林总你们的能力或许相关。”
他指向其中几项:
“首先是‘极紫外(EUV)光刻机用碳化硅反射镜基材’ 。EUV光刻机是通往7纳米以下制程的唯一路径,其内部需要大量超高精度、超高表面质量、且在EUV波段具有极高反射率的反射镜。这些反射镜的基材,需要一种纯度达到99.%(9个9)以上、内部无缺陷、且热稳定性极好的碳化硅材料。目前全球只有极少数公司能够提供,对我们严格禁运。”
“其次是 ‘高纯度电子级特种气体’ ,如三氟化氮(NF3)、六氟丁二烯(C4F6)等,用于芯片蚀刻和清洗,纯度要求同样是9个9级别,任何微量杂质都会导致芯片良率暴跌。”
“还有 ‘光刻胶及其配套试剂’ ,尤其是用于先进制程的KrF、ArF Immersion以及EUV光刻胶,其化学成分和配方极其复杂,被誉为‘半导体材料皇冠上的明珠’,国内几乎完全依赖进口。”
看着这一连串光是听着就让人头皮发麻的名词和要求,王胖子感觉自己的呼吸都困难了,他掰着手指头数:“9个9的纯度?我的妈呀,这得纯到什么地步?空气里的灰尘都比它脏吧?这玩意儿真是地球人能造出来的?”
林枫的眉头也紧紧锁住。这些要求,每一项都是地狱难度。尤其是EUV光刻机用的碳化硅基材,其制备难度,恐怕比他之前搞定的超低温钢和五轴机床加起来还要高!
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龙战国看着林枫的表情,沉声道:“小林,我知道这很难,非常难。这不仅仅是技术问题,更是一场需要巨大投入和长期坚持的战役。但我们已经没有退路!国家会倾力支持,要人给人,要钱给钱!你们龙芯工业,敢不敢接下这个军令状?”
会议室里一片寂静,所有人的目光都聚焦在林枫身上。
林枫深吸一口气,脑海中飞速闪过《星际通用材料手册》中的内容,以及系统数据库里那些残缺的信息碎片。关于高纯度材料制备、关于等离子体工艺、关于能量束与物质的相互作用……一些模糊的概念和方向隐约浮现。
困难如山,但他别无选择,也不能选择!
他抬起头,眼神恢复了以往的坚定和锐利,甚至比以往更加炽热:“首长,李院士,这个任务,我们龙芯工业,接了!不敢保证一定能成功,但我们可以保证,会投入我们所有的一切,直到攻克它为止!”
“好!”龙战国重重一拍桌子,脸上露出了如释重负又充满期望的表情,“我就知道,找你小子准没错!”